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即时监测ppt级微量腐蚀性气体(NH3/NMP/ Total Amines/ |
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| Total Acid/HCl/Cl2/POC...等) | ||
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操作简单，维修方便 | |
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具有 (HMI)人机交互式界面多点监测系统(4/16/30/45/60點) | |
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国外有象Intel、AMD、IBM、AT&T、AMP、Philips、 |
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| Sematech、Motorola 、Thomson、Micron、Graner、TEL...等 |
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| 大廠使用中 | ||
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国内亦有中芯国际、宏力半导体、和舰科技等大厂在使用中 | |