|
|
| 机种 |
Hyper MF |
Hyper MF-U |
| 镜筒 |
有限远补正光学系 |
无限远补正光学系 |
| 测量范围(mm) |
250(Ｘ轴)*150(Ｙ轴)*150(Ｚ轴) X,Y轴：(0.9+3L/1000) μmL=测量长 |
|
| 测长单位 |
低膨胀玻璃光栅尺(线膨胀系数0.02*10-6/℃) |
|
| 驱动方式 |
操纵杆操控电动驱动 |
|
| 最小表示量 |
0.01μm |
|
| 最大积载质量 |
30kg |
|
| 透过照明 |
垂直照明12V50W光纤开口带光圈 |
|
| 反射照明 |
反射照明12V100W光纤开口带光圈 |
|
| 本体质量 |
250kg |
255kg |