L200/200D 集成电路检查显微镜

尼康将CFI60无限远光学系统用于集成电路检查显微镜，由此获得前反未有的高对此度图像。

特点

  • CFI60无限远光学系统是将尼康著名的CF(自动消色差)设计与无限远光学系统结合在一起，使得物镜不仅工作距离更长，而且数值孔径更高；

  • 符合SEMI S2-93A,S8-95设计；

  • 利用计算机辅助工程系统（CAE）对机身进行防震设计；

  • 具有全面的防污染措施。

主要技术参数

调焦机构

行程：29mm，粗调：每转12.7mm(扭矩可调，具有再聚焦制动装置)，微调：每转0.1mm，每格1μm。
落射照明器 内置12V100W卤素灯，内置式孔径光阑（中心可调），固定型视场光阑（具有可调对准板），还可安装选配的小孔光阑滑块，可安装的4个?25mm的滤光片（NCB11,ND4，ND16），具有起偏器和检偏器。
透射照明器
（仅L200D） 		内置12V100W卤素灯，内置式孔径光阑，内置式LWD聚光器，可安装的2个?25mm的滤光片（NCB11,ND4）。
物镜转换器 固定式六孔万能物镜转换器，具有DIC插槽
目镜筒 超宽视场可倾式三目镜筒
载物台 8X8载物台，行程：205X205mm （透射观察时：105X105mm）粗微移动可以互换，X-Y方向微动手柄位置固定。
目镜 CFI目镜系列
物镜 CFI LU/L 平场系列