配备新开发的分析管，实现了高灵敏度、低BG化，检测灵敏度达到10－12―103Pa?m3/s[He] ，并可无线遥控操作。干泵型适合于半导体前工序。
● 检测灵敏度：5×10－12―103Pa?m3/s[He]
● 排气系统：分子泵＋油旋转轮真空泵（或干泵）
● 分析管：镀氧化钍钛灯丝（内装2根）
● 特长：无线遥控
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| 全自动便携式氦质谱检漏仪MSE-2000 配备新开发的分析管，实现了高灵敏度、低BG化，检测灵敏度达到10－12―103Pa?m3/s[He] ，并可无线遥控操作。干泵型适合于半导体前工序。 ● 检测灵敏度：5×10－12―103Pa?m3/s[He] ● 排气系统：分子泵＋油旋转轮真空泵（或干泵） ● 分析管：镀氧化钍钛灯丝（内装2根） ● 特长：无线遥控 |
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