具有高灵敏度1.4―10－3Pa?m3/s[He]，低背景噪声，并配置总泄漏检出功能。
● 检测灵敏度：1.4×10－12―2.8×10－3Pa?m3/s[He]
● 真空系统： 氦质谱专用分子泵（免注油）
油旋片泵（前级）
油旋片泵（粗油，油雾分离器）
皮拉尼真空计（双系统）
● 质谱室： 镀氧化钍钛灯丝（内装2根）
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| 全自动高灵敏度型氦质谱检漏仪MSE-5000 具有高灵敏度1.4―10－3Pa?m3/s[He]，低背景噪声，并配置总泄漏检出功能。 ● 检测灵敏度：1.4×10－12―2.8×10－3Pa?m3/s[He] ● 真空系统： 氦质谱专用分子泵（免注油） 油旋片泵（前级） 油旋片泵（粗油，油雾分离器） 皮拉尼真空计（双系统） ● 质谱室： 镀氧化钍钛灯丝（内装2根） |
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