量测范围
800 X 800 mm(x,y)
解析读数
0.001 mm  SCALES (XY 2 Axes)
量测软体
AVM - 300  + WIN-ME
电脑硬体
PC + 17 " Color Monitor
取像系统
1/3" Color CCD + ZOOM
放大倍率
15X....100X (option 30X...200X) 
表面灯源
WHITE LED or 150 W Fiber Ring Light(option)
轮廓底光
LED
线性精度
U1 = 4+5L/1000 μm
重复精度
0.003mm
驱动方式
SERVO MOTORS + MPG Fine- Adjust + JOYSTICK
传动方式
Air Bearing
操作方式
Motorized   马达驱动
花岗延平台
DIN 876, 0 GRADE
(AREA 900 X 900mm 放置面积) 
工作限高
100 mm 
工作限重
40 kgs
外型尺寸
185 x 130 x 160 cm(W,D,H)
(Including Base Stand) 
机器重量
1500 kgs
选购软体
MSU - 25D or QC - 5300 - VED
选购配备
Z Axis with Scale (Z 轴加装光学尺) 
选购配备
0.5um or 0.1 um Scales