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| 名 称： | MGH686 |
| 型 号： | 686 |
| 测量范围(mm)X： | 600 |
| 测量范围(mm)Y： | 800 |
| 测量范围(mm)Z： | 600 |
| 探测系统： | PH10T+TP20 静态温度补偿系统 |
| 分辨率： | 0.1μm |
| 示值误差（μm）： | 1.5+L/350 |
| 探测误差（μm）： | 1.8 |
| MGH系列测量机采用封闭框架结构设计，是高精度精密型测量机的专用结构。由固定桥和工作台移动组成，其牢固的机械结构确保了系统具备最大的刚性、最佳的稳定性和最小的振动，保证了整个测量空间极高的测量精度。三轴在机械上相互独立，运动互不干扰，从而确保了系统的高稳定性。 Y轴运动采用中央驱动，避免了Y向运动中的偏摆，提高了Y轴的运动精度 Y轴导轨采用燕尾槽定位方式，以保证运动时的最大刚性及精度。 三轴导轨均采用优质花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，因而具有良好的温度稳定性、抗实效变形能力，钢性好、动态几何误差变形最小。三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，运动更平稳。光栅的布置接近被测工件，遵循了阿贝误差原理，减小了系统误差。驱动系统采用进口高性能直流伺服电机、进口摩擦杆传动装置，确保传动更快捷、更精准、运动性能更佳。 Z轴采用气缸平衡装置，极大的提高了Z轴的定位精度及稳定性。 | |