产品简介：
ZLS－25D/M、ZLS-25D/T型氦质谱检漏仪是一种全功能氦质谱检漏仪，与我厂生产的扩散泵型仪器相比，采用了德国莱宝的涡轮分子泵作 仪器的高真空机组，优化了真空系统及控制阀门的设计，显示部分采用了嵌入式工控计算机，微机系统控制。适用于生产线上对大批量零件的检漏（喷氦法或背压 法），也可用吸枪作吸氦法检漏。
主要特点：
1.1 微机系统控制，人机对话方式操作
1.2 7英寸触摸式液晶显示屏，大字符漏率显示，
漏率直读，四种常用漏率单位转换
1.3 自动扫描氦峰，具有图形显示和保存功能
1.4 动态清除本底
1.5 检漏过程曲线显示
1.6 检漏数据保存功能
1.7 声讯报警，报警点可程序设置
1.8 自带一套辅助系统，可作喷氦法、吸氦法和背压法检漏
1.9 进口涡轮分子泵
主要技术参数：
2．1 仪器最小可检漏率：优于 5×10-12Pa·m3／s
2．2 仪器的反应时间：不大于3s
2．3 仪器质谱室允许工作的最高压强：1×10-2 Pa
2．4 仪器测试口允许工作的最高压强：1000Pa
2．5 被检件由粗抽至检漏的自动切换点（检漏点）可调范围：40～10-1Pa
主要部件配置：
3．1 涡轮分子泵 德国莱宝 1台
3．2 前级泵 国产 1台
3．3 粗抽泵 国产 1台
3．4 质谱分析室 成都仪器厂 1套
3．5 校准漏孔（带检定证书） 1支
产品简介：
氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体，对大气无污 染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易渗透过任何可能存在的漏率，检测灵敏度高、速度快、适用范围广；加之氦在大气中含量少（仅万分之五），离子质量与其 它气体离子质量相差很大，不易受干扰，不会错判。与当今诸多检漏方法（如气泡法、卤素检漏法等）相比，它是佼佼者。
ZLS－26D/T型氦质谱检漏仪是新型的全功能氦质谱检漏仪，机内采用涡轮分子泵作主排气机，启动快（仅五分钟即可使用）。仪器可以在测试口压 强近似大气时，采用道扩散方式进行检漏，也可以在测试口压强为50Pa以下时采用常规方式进行检漏；用常规方式检漏时，可以在分流状态下检较大的漏隙（测 试口压强在 50～10-1Pa），也可以在不分流状态下检微小的漏隙（测试口压强在10-1Pa以下）。仪器测量范围可达2×10-1～2×10-12Pa·m/S。仪器采用光柱和数码管直接显示漏率，且可按需要选用适当的漏率单位（仪器已给出四种常用单位Pa·m3/S、 Torr·L/S、mbAR·l/s、atm·cc/s），读数方便仪器有音响报警装置，报警点可以任意设定，使用方便。本仪器适用于工厂车间和实验室对 各种零部件作喷氦法（真空检漏法）、吸氦法（压力检漏法）、背压法检漏。其中ZLS-26D型军品已通过二炮验证，开始批量为其专供配套。
主要技术参数：
仪器最小可检漏率：优于5～10-12Pa～m3/s
仪器最大可检漏率：2×10-1Pa～m3/s
仪器漏率显示范围：2×10-1～2×10-13Pa～m3/s
仪器的反应时间： 不大3s
仪器质谱室允许工作的最高压强：1×10-2Pa
仪器测试口允许工作的最高压强：1000Pa
被检件由粗抽至检清的自动切换点
（检漏点）可调范国：50～10-1Pa
音响器报警点设定范围：任意
背压法检漏时间可调范围：5～30s
仪器的启动时间： 不大于5min
仪器的轮廓尺寸： 640*550*980 mm3
仪器的重量： 约75Kg
氦质谱检漏仪对比
-----------------------------------------------
型 号 最小可检漏率Pa.m3/s
-----------------------------------------------
ZLS-23B 2·10-11
ZLS-24B 2·10-11
ZLS-24C 2·10-11
ZLS-26D/T 5·10-12
-----------------------------------------------
型 号 反应(清除)时间 s
-----------------------------------------------
ZLS-23B ＜3
ZLS-24B ＜3
ZLS-24C ＜3
ZLS-26D/T ＜3
-----------------------------------------------
型 号 读数方式
-----------------------------------------------
ZLS-23B 表头（mV）
ZLS-24B 表头和数字（量程自动切换）
ZLS-24C 表头和数字（量程自动切换）
ZLS-26D/T 数字直读
-----------------------------------------------
型 号 特 点
-----------------------------------------------
ZLS-23B 单主机，带标准漏空
ZLS-24B 带一套粗抽系统（泵2XZ-4B），使用
于各种检漏方法，带标准漏孔
ZLS-24C 带二套粗抽系统，适用于批量检漏，
带标准漏孔
ZLS-26D/T 涡轮分子泵（德国莱宝50型）前级泵
（日本GLD030）粗抽泵（英国
EDWARDERV12），带标准漏孔
产品简介：
ZLS—26D/M型氦质谱检漏仪由26型检漏系统与触摸式大屏幕工控系统组成。是成都仪器厂最新开发的新一代氦质谱检漏仪器。仪器采用计算机程 序控制，通过触摸式显示屏按人机对话方式进行功能操作，具有自动寻峰、程序控制、检漏数据存储、分析、统计及打印等功能，具备高度的智能化程度。
特点：
★ 微机系统控制
★ 12寸触摸式液晶显示屏，大字符漏率显示，漏率直读，四种常用漏率单位转换
★ 动态清除本底
★ 不同工件检漏曲线显示
★ 检漏数据保存和打印功能
★ 声讯报警，报警点可程序设置
★ 检漏仪指标参见ZLS-26D/T氦质谱检漏仪
产品简介：
ZLS-26D/T（双口型）氦质谱检漏仪是为适应生产线上快速工作的要求而研制的。其和ZLS-26D/T相比，真空系统和电路基本相同，检漏 指标也相当，只是多一套辅助系统。每一套辅助系统均可单独完成对工件的“初抽—检漏—放气”这样一个完整的检漏工作周期。
主要技术参数：
有两个检漏接口
仪器最小可检漏率：优于5～10-12Pa～m3/s
仪器最大可检漏率：2×10-1Pa～m3/s
仪器漏率显示范围：2×10-1～2×10-13Pa～m3/s
仪器的反应时间： 不大3s
仪器质谱室允许工作的最高压强：1×10-2Pa
仪器测试口允许工作的最高压强：1000Pa
被检件由粗抽至检清的自动切换点
（检漏点）可调范国：50～10-1Pa
音响器报警点设定范围：任意
背压法检漏时间可调范围：5～30s
仪器的启动时间： 不大于5min
仪器的轮廓尺寸： 640*550*980 mm3
仪器的重量： 约100Kg
产品简介：
ZLS-27DM型氦质谱检漏仪是新型的小型车载式氦质谱检漏仪。仪器由主机、10.2″触摸式大屏幕工控机[重仅26kg，体积为 490×470×350（W×H×D）]和外接真空泵组成。小型、轻便、可携带。仪器还配有小车，移动方便。机内采用进口涡轮分子泵作主排气机，启动快 （仅五分钟即可使用）；采用计算机程序控制，通过触摸式显示屏按人机对话方式进行功能操作，具有自动寻峰、程序控制、检漏数据存储、分析、统计及打印等功 能，高度智能化。
仪器可以在测试口压强为40Pa以下时采用常规方式进行检漏。用常规方式检漏时，可以在分流状态检较大的漏隙（测试口压强在40～10-1Pa），也可以在不分流状态检较小的漏隙（测试口压强在10-1Pa以下）。仪器配上吸枪后，可以对内部充He的试件进行吸He法检漏，最小可检漏率优于10-10Pa·m3/s；仪器配上快检附件(相当于小真空室)、压He罐后,可以对密封元器件等试件进行背压法检漏，最小可检漏率优于1×10-9Pa·m3/s。
仪器测量范围可达2×10-1～2×10-12Pa·m3/s。仪器有音响报警装置，报警点可以任意设定，使用方便。
技术参数和配置：
1. 技术指标
仪器最小可检漏率：优于5×10-12Pa·m3/s
仪器反应时间：不大于3s
仪器质谱室允许工作的最高压强：1×102Pa
仪器测试口允许工作的最高压强：100Pa
被检件由粗抽至检漏的自动切换点（检漏点）可调范围：40～10-1Pa
音响器报警点设定范围：任意
背压法检漏时间可调范围：5～30s (密封元器件)
仪器启动时间：不大于5min
小车轮廓尺寸：650×850×520mm
仪器重量：68kg（主机、工控机、外接4l/s真空泵、小车）
仪器使用条件：环境温度5～35℃
相对湿度＜80%
供电电源：220V±10%、50Hz
仪器功耗：1.5kVA
2. 仪器内部配置
1） 涡轮分子泵——美国VARIAN Turbo-V 81-T。
2） 外接真空泵——美国VARIAN DS 302
3） 校准漏孔，对He的漏率为10-9量级，有校准证书。
3．附件箱内有
离子源的易损件及小螺钉。
各种密封垫圈（足够使用2年以上）。
喷氦法检漏用的喷枪及气袋。
4．可以按要求配置吸枪（管长20m时，反应时间约15s）。
5. 可以按要求配置背压检漏用的快检附件。
产品简介：
氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体，对大气无污 染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易渗透过任何可能存在的漏率，检测灵敏度高、速度快、适用范围广；加之氦在大气中含量少（仅万分之五），离子质量与其 它气体离子质量相差很大，不易受干扰，不会错判。与当今诸多检漏方法（如气泡法、卤素检漏法等）相比，它是佼佼者。
性能指标：
氦质谱检漏仪对比
-----------------------------------------------
型 号 最小可检漏率Pa.m3/s
-----------------------------------------------
ZLS-23B 2·10-11
ZLS-24B 2·10-11
ZLS-24C 2·10-11
ZLS-26D/T 5·10-12
-----------------------------------------------
型 号 反应(清除)时间 s
-----------------------------------------------
ZLS-23B ＜3
ZLS-24B ＜3
ZLS-24C ＜3
ZLS-26D/T ＜3
-----------------------------------------------
型 号 读数方式
-----------------------------------------------
ZLS-23B 表头（mV）
ZLS-24B 表头和数字（量程自动切换）
ZLS-24C 表头和数字（量程自动切换）
ZLS-26D/T 数字直读
-----------------------------------------------
型 号 特 点
-----------------------------------------------
ZLS-23B 单主机，带标准漏空
ZLS-24B 带一套粗抽系统（泵2XZ-4B），配有一只校准漏孔
ZLS-24C 带二套粗抽系统，适用于批量检漏，配有一只校准漏孔
ZLS-26D/T 涡轮分子泵（德国莱宝50型）前级泵
（日本GLD030）粗抽泵（英国
EDWARDERV12），配有一只校准漏孔
性能指标
氦质谱检漏仪对比
-----------------------------------------------
型 号 最小可检漏率Pa.m3/s
-----------------------------------------------
ZLS-23B 2·10-11
ZLS-24B 2·10-11
ZLS-24C 2·10-11
ZLS-26D/T 5·10-12
-----------------------------------------------
型 号 反应(清除)时间 s
-----------------------------------------------
ZLS-23B ＜3
ZLS-24B ＜3
ZLS-24C ＜3
ZLS-26D/T ＜3
-----------------------------------------------
型 号 读数方式
-----------------------------------------------
ZLS-23B 表头（mV）
ZLS-24B 表头和数字（量程自动切换）
ZLS-24C 表头和数字（量程自动切换）
ZLS-26D/T 数字直读
-----------------------------------------------
型 号 特 点
-----------------------------------------------
ZLS-23B 单主机，带标准漏空
ZLS-24B 带一套粗抽系统（泵2XZ-4B），配有一只校准漏孔
ZLS-24C 带二套粗抽系统，适用于批量检漏，配有一只校准漏孔
ZLS-26D/T 涡轮分子泵（德国莱宝50型）前级泵
（日本GLD030）粗抽泵（英国
EDWARDERV12），配有一只校准漏孔
-----------------------------------------------