技术参数

旋转工作台

       旋转精度（径向）（0.02+3.5H/10000）μm

       旋转精度（横向）（0.02+3.5X/10000）μm

                      H为测量高度（mm）,X为测量半径（mm） 

       旋转速度:             2,4,6,10rpm

      工作台有效直径:     235mm(200mm:DS,DH 型号)

       调心范围:             ±3mm（±5mm：DS,DH 型号）

       调水平范围:         ±1°

       最大测量直径:       300mm

       最大工件直径:       580mm

       台面最大承重:       30kg

垂直轴（Z轴）

       垂直移动  :         300mm(500mm:AH,DH 型号)

       直线度（λc2.5）:   0.10μm/100mm，0.15μm/300mm

                                        （0.25μm/500mm：AH,DH型号）                  

      与转盘轴平行度:     0.7μm/300mm

                                      （1.2μm/500mm:AH,DH 型号）

       定位速度:             最大 50mm/s

        测量速度:             0.5,1,2,5mm/s

        最大检测高度        300mm(OD),300(ID)

                                   [500mm:AH,DH 型号]

        最大检测深度:        85mm- Φ32mm更多

                                        50mm- Φ7mm更多          

水平臂（X轴）

         水平移动 :              175mm(包括工作台旋转中心

                                          -25mm～+150mm的突出量）        

         直线度（λc2.5）:     0.7μm/150mm

        与转台轴的垂直度:    1.0μm/150mm

        定位速度:                 利用操纵杆，最大30mm/s

        测量速度:                  0.5,1,2,5mm/s

测针和测头

        测量范围:            ±400μm/±40μm/±4μm

        测力:                  10-50mN(5级转换)

        标准测针:            硬质合金球，Φ1.6mm

        测量方向双方向:

        测量角度调整:        ±45°(带刻度）

供气

        气压:       0.39MPa