超声波扫描显微镜（ 陈136委414清43960，扫描频率最高可以达到２Ｇ）．扫描分辨率0.1微米.最小扫描范围为0.25mm*0.25mm. 是一种非破坏性的 检测组件的完整性，内部结构和材料的内部情况的仪器，作为无损检测分析中的一种，它可以实现在不破坏物料电气性能和保持结构完整性的前提下对物料进行检 测。
被广泛的用在物料检验(IQC)、失效分析(FA)、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D))等领域。
其可以 检查到:１.材料内部的晶格结构，杂质颗粒．夹杂物．沉淀物．2. 内部裂纹. 3.分层缺陷.4.空洞,气泡,空隙等。 在一个较小尺寸的范围内，超声波会由于材料的物理特性发生相互作用。一旦材料的特性发生变化，样品内部的超声波就会被吸收、散射和反射。因为超声波无法很 好通过空气进行传播，所以样品内的微小缝隙会被很容易的检测到。利用超声波的这种特性，可以把半导体材料内部的诸如分层，裂缝等的缺陷和不透光材料中的空 隙等缺陷，成像在高分辨率的图像上，给材料的可靠性分析带来方便。

声学扫描显微镜是一种非破坏性的检测组件的完整性，内部结构和材料的内部情况的仪器，作为无损检测分析中的一种，它可以实现在不破坏物料电气能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。被广泛的应用在物料检测（IQC）、失效分析（FA）、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D)等领域。

其可以检测：1.材料内部的晶格结构，杂质颗粒; 2.内部裂纹; 3.分层缺陷; 4.空洞、气泡、空隙等等


在声学显微成像（AMI: Acoustic Micro Imaging）技术应用于内部品质无损检测与分析方面，Sonoscan一直是该行业的权威之一。Sonoscan系统被视为精确基准，通过我们的SonoLab?部门，您可以向我们的声学应用工程师进行咨询，获取专业意见和指导。Sonoscan致力于通过教育项目、客户应用程序评估与新系统开发来实现AMI技术的持续改进。

对AMI技术的专业研究是Sonoscan工作的核心。我们努力提供非凡的数据精确性、出众的图像质量和世界领先的技术。我们在AMI技术方面还拥有多项美国和外国专利。总之，Sonoscan是您最值得信任的伙伴，我们可以为您节省成本并提高效率。

Sonoscan C-SAM D9500是一种新型AMI标准仪器，可以提供出众的精确度和稳定性，适合破损分析、工艺开发以及材料分析与表征。

超声波探头频率：5M到400M

超声波扫描模式：A-Scan(某点扫描)、B-Scan(块扫描)、C-Scan(层扫描)、Multi-Scan(多层扫描)、Q-BAM(虚拟横截面)、T-Scan (穿透式扫描)、3-V(3维图像)、Tray-Scan(盘扫描)

最大扫描范围：12.9X12.4英寸

最大分辨率：8192X8192

选择的声波宽度：0.25纳秒到1微秒

Z轴分辨率：80纳米