喷淋盘（Showerhead）是刻蚀、CVD等半导体工艺设备中的关键气体分配部件，盘面密集分布数千至上万个微孔，工艺气体通过微孔均匀分配并输送至晶圆表面，从而影响薄膜沉积及刻蚀过程的均匀性。

随着先进制程演进，喷淋盘微孔向数量更多、尺寸更小、精度要求更高的方向发展。面对整盘海量微孔，如何兼顾测量精度与效率，成为喷淋盘量测的核心挑战。

行业痛点：微孔数量多、精度要求高，传统检测效率受限

面对喷淋盘的海量微孔，传统检测主要存在“多、严、慢”三重挑战：

1、 多 —— 一个工件，测量项数以万计。喷淋盘表面密集排布数千至上万个微孔，每个微孔均涉及孔径、圆度、位置度等特征测量。传统逐孔测量方式需要反复执行定位、成像和数据处理，测量任务量大。

2、严 —— 微米级精度要求，测量能力面临挑战。喷淋盘微孔尺寸及相关几何特征控制严格，孔壁垂直度通常要求不小于 89.5°，表面平整度为微米级，部分高密度产品孔径低至0.1–0.3 mm，微孔尺寸偏差一旦超过 0.005mm，气体流量就会出现不均。微小特征对光学分辨能力、成像质量及测量精度均提出较高要求。

3、 慢 —— 逐点测量效率受限，难以满足批量检测需求。传统影像测量通常采用“移动—停止—成像—再移动”的逐点测量方式。面对海量微孔，频繁启停与重复定位显著增加单件检测时间，限制整体量测效率。同时，大量重复测量程序的编制和维护，也增加了操作人员工作量。

技术方案：圆弧飞拍，实现喷淋盘微孔高速批量检测

针对喷淋盘微孔数量多、检测任务量大的特点，天准科技基于VMG 龙门型大行程影像仪-天准与Vispec测量软件，采用圆弧飞拍方式，将传统逐孔停顿成像转变为运动过程中的连续图像采集，在保证测量精度的同时，有效减少设备频繁启停的时间消耗。

1. VMG龙门型大行程影像仪+高倍率光学系统，适配大尺寸喷淋盘检测

针对喷淋盘直径较大、微孔尺寸小的特点，方案采用天准VMG龙门型大行程影像仪，配置13.3:1自动变倍镜头及高清彩色工业数字摄像机，最大放大倍率达337倍，为微孔边缘及细微特征的清晰成像提供硬件基础。

光源系统采用高亮轮廓光，并结合表面特征检测所需的同轴光，兼顾轮廓与表面特征成像，降低反光等因素对图像质量的影响。

2. 圆弧飞拍+连续采集，大幅减少逐孔停顿

针对喷淋盘微孔呈阵列分布的特点，方案采用圆弧飞拍模式。设备沿预设运动轨迹连续移动并采集图像，无需对每个测量位置逐一停顿拍摄，再通过软件识别微孔特征并快速完成圆直径、位置度、坐标等参数的批量测量。

3. DXF图纸匹配+自动定位，减少人工找正与编程

基于Vispec测量软件，可通过双圆等基准特征建立工件定位坐标系，并导入DXF标准工程图纸，通过图像匹配算法完成图纸模型与实际工件的自动对位校准，减少人工找正操作。

在此基础上，可根据检测要求配置曝光参数及评价方向。测量结束后，系统自动输出标准化检测数据及报表，为质量判定与数据分析提供依据。

方案价值：从单件检测效率到整体量测成本优化

· 检测效率提升10.2倍，突破海量孔位检测瓶颈

通过圆弧飞拍将逐孔停顿测量转变为运动过程中的连续采集，减少大量重复启停和定位时间。实际应用中，整体检测效率较传统测量方案提升10.2倍，更适合喷淋盘这类高密度、多孔位工件。

· 减少重复编程，提升量测人效

基于DXF图纸匹配和标准化测量流程，减少人工找正及逐孔编程。对于首件检测、批量检测等场景，可有效降低重复操作负担。

· 以效率提升降低设备投入与量测成本

对高密度微孔喷淋盘，如果单台设备检测能力不足，通常需增加设备数量以满足产能需求。圆弧飞拍提升单台设备的单位时间检测能力，在既定产能要求下，有助于减少设备数量及相应的空间、人员和维护投入，降低整体量测成本。

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