近年来，中国半导体设备本土制造能力持续增强，产业自主化进程明显提速。数据显示，2024年中国国产半导体设备销售额突破1000亿元人民币，同比增长37.5%，展现出强劲的增长态势。与此同时，国产设备在中国大陆市场的占有率进一步提升至25.4%，反映出本土供给能力的稳步提升。
在这一产业蓬勃发展的背景下，第106届中国电子展半导体设备与核心部件展区已成为国内半导体领域最具影响力的专业盛会。该展会集技术交流、展览展示、产品发布、论坛活动于一体，是洞察行业趋势、推动产业链协同的重要平台。本届展会将于2025年11月5日至7日在上海新国际博览中心N4、N5馆举行（由3号登录大厅入场），预计将汇聚众多国内外领先企业，展示从材料、设备到核心部件的最新成果。截至目前，已有50余家知名企业确认参展，具体参展情况如下：
上海车仪田科技有限公司（5B050）专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统，公司团队成员拥有数十年的半导体产品产业化经验，是国内半导体设备龙头公司的光电类供应商战略合作伙伴。
公司在等离子体光谱分析、高精度温度测量及控制、气体液体浓度分析等技术领域提供在线式检测零部件和子系统，应用于半导体设备上参与核心工艺过程。应用领域几乎覆盖半导体芯片制造的全部工艺制程，包括刻蚀去胶工艺、薄膜沉积外延工艺、热处理工艺、清洗工艺等。
联盛半导体科技有限公司(5B225)成立于2023年5月，工厂地址位于江苏省无锡市锡山科创园，公司致力于半导体高端湿制程设备研发、生产与销售。
无锡邑文微电子科技（无锡）有限公司(5D021)，是中国领先的半导体设备制造商之一，致力于成为全球的半导体、泛半导体高端微纳高科技装备制造业的领军企业。
经过多年研发创新，邑文科技已掌握干法刻蚀、薄膜沉积、真空热处理等领域的多项核心技术，并广泛应用于半导体的前端工艺，特别是在化合物半导体、MEMS 以及逻辑、存储等先进制程领域。公司旗下所有产品，均按照行业最严格的质量体系进行管控，满足半导体行业高要求应用。
江苏快克芯装备科技有限公司(5D022)是快克智能全资子公司，公司自主发微纳金属烧结设备、真空/甲酸焊接炉、芯片封装AOI、高速高精固晶机及先进封装热压键合设备（TCB）等，为半导体先进封装、光器件微组装、车规级碳化硅芯片封装提供装备解决方案。
苏州维嘉科技股份有限公司(5D041)，是一家电子行业专用高端设备提供商，集研发、生产与销售于一体的国家级专精特新“小巨人”企业，经十余年研发，公司在高速高精运动控制技术、精密加工及视觉检测技术等方面积累深厚，并致力于为半导体先进封装、测试等行业客户提供所需关键设备及解决方案。
江苏神州半导体科技有限公司(5D061)是一家以中国为基地、面向全球的半导体高端设备公司,神州为集成电路和泛半导体行业以及医疗行业提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务,产品及服务应用于半导体刻蚀设备和化学薄膜设备,离子注入设备,物理气相沉积设备,医疗磁控系统等高科技工业领域。
北京华丞电子有限公司(5D062)在传承四十余年流量测控经验技术的基础上，整合融入射频、晶圆传输等专业技术优势和创新能力，致力于为半导体、清洁能源、真空工业、生命科学及科学研究五大领域用户，提供精密零部件产品及整体解决方案。
华丞电子秉承“以客户为中心、以价值创造者为本，持续创新""理念，精研需求、尊重科学、潜心技术、持续创新，形成了流量测控、真空测控、气路系统、射频电源、ESC直流电源、磁流体密封装置、晶圆传输系统等系列产品。公司已布局四大研发生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚、非主要国家和地区。
山东力冠微电子装备有限公司(5D081)是一家集研发、生产、销售于一体的先进半导体装备制造与工艺技术服务商，业务覆盖国内外市场。
公司产品涵盖第一代至第四代半导体材料工艺设备，均拥有自主知识产权，完全自主可控，产品广泛应用于集成电路、功率半导体、化合物半导体、5G芯片、光通信、MEMS等新型电子器件制造领域。公司可为客户提供“设备制造+工艺技术服务”一体化解决方案。
盛美半导体设备（上海）股份有限公司(5D121)是上海市政府科教兴市项目重点引进的集成电路装备企业，集研发、设计、制造、销售于一体，为全球客户提供高端半导体前道工艺设备和先进封装设备。主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备、PECVD设备，以及晶圆级与面板级封装设备等。
北京中电科电子装备有限公司(5D162)由中国电子科技集团有限公司旗下的中电科电子装备集团有限公司全资控股。主要从事集成电路、第三代半导体及其他分立器件领域用减薄机、划片机、研磨机等设备的研发生产和销售,覆盖4英寸、6英寸、8英寸和12英寸晶圆的材料加工、芯片制造和封装等工艺段。
北京通嘉宏瑞科技有限公司(5B030)是专业从事干式真空泵系统的研发、生产、销售，以及售后服务的科技创新企业，广泛服务于半导体、显示面板、光伏、LED照明、锂电等行业。
