1.了解干涉显微镜的结构并熟悉其使用方法
2.熟悉用干涉法测量表面粗糙度的原理
3.加深对表面粗糙度评定参数中的微观不平度
一、测量原理
干涉显微镜是利用光波干涉原理和显微镜系统测量表面粗糙度的量仪。它用光波干涉原理反映出被测表面的粗糙程度，用显微系统进行高倍放大后观察和测量。
二、实验步骤
1.调整量仪
接通电源，预热15-30分钟;转动手轮至目视位置，转动手轮使遮光板移出光路，此时从目镜可看到明亮的视场。若视场亮度不匀，可转动螺钉来调节;转动手轮，使视场中下方的弓形直边清晰，松开螺钉，取下目镜，从目镜管直接观察到两个灯丝象。将孔径光阑开至最大，转动手轮使两个灯丝象完全重合;将被测工件放在工作台上，被测表面向下对准物镜。转动手轮使遮光板遮住标准镜，推动滚花轮，使工作台在任意方向移动，转动滚花轮使工作台升降，直至视场中观察到清晰的被测表面影像为止，再转动手轮，使遮光板移出光路。
2.找干涉带
此时采用单色光，慢慢地来回转动手轮，直至视场中出现清晰的干涉条纹为止。
3.测量
转动滚花轮，使工作台旋转，调节干涉条纹的方向使之垂直于加工痕迹，松开螺钉，转动目镜，使视场中十字线的一条直线与干涉条纹平行，然后把目镜固紧。接着开始测量你所需测量的数据。